




手套箱常見故障及解決辦法
1、水氧含量大于200ppm
原因:新箱調(diào)試或誤操作。
辦法:停止循環(huán),開啟清洗,清洗至100ppm以下,開啟循環(huán)。
2、屏幕顯示 主閥壓力不足0.4MPa或主閥信號故障
原因:氣源壓力不足。
辦法:換氣瓶,增大壓力至0.4-0.5MPar。
3、屏幕顯示“Pump Switch Off”
原因:真空泵阻力過大,造成跳閘。
辦法:維修真空泵后,打開電柜,合上跳閘開關(guān)。
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手套箱包含真空手套箱、有機玻璃手套箱、凈化手套箱,所謂真空手套箱其實就是剛剛引進手套箱概念到國內(nèi)時,國內(nèi)批廠商命名的,就是手套箱需要真空泵抽取過渡艙氣體后放入手套箱,箱體氣氛也可以被真空泵抽取的意思,可以帶惰性氣體純化系統(tǒng)也可以是不帶氣體純化系統(tǒng)簡單的箱體;有機玻璃手套箱一般是不帶氣體凈化系統(tǒng)的透明箱體,里面填充99.999%純度氮氣,一般箱內(nèi)氣氛不能達到<10ppm的純度,不帶氣氛檢測、吹掃過稱需消耗大量氮氣;3、對系統(tǒng)抽氣時,請緩緩打開閥門,并隨時注意手套的變化,如出現(xiàn)膨脹,應減慢抽氣速度,如仍不能解決問題,應停止抽氣,如手套發(fā)生爆裂,檢查三通閥是否打開。凈化手套箱一般是帶氣體純化系統(tǒng)和密閉箱體操作空間的手套箱,可達到的環(huán)境氣氛純度高,一般品質(zhì)過硬的廠商,水氧指標都能控制到<1ppm的高純狀態(tài)。
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真空熱蒸發(fā)鍍膜工藝
OLED器 件需要在高真空腔室中蒸鍍多層有機薄膜和金屬電極,薄膜的質(zhì)量關(guān)系到器件質(zhì)量和壽命。在有機真空腔室中設有多個放置有機材料的蒸發(fā)舟,加熱蒸發(fā)舟蒸鍍有機 材料;在金屬真空腔室中設有多個放置金屬電極的蒸發(fā)舟,金屬蒸發(fā)舟常采用鉬、鉭和鎢等材料制作,電極材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等,通常是使用低功函數(shù)的活潑金屬。ITO玻璃基板放置在可加熱的旋轉(zhuǎn)樣品托架上,其下面放置的金屬掩膜板控制蒸鍍圖案,并利用石英晶體振蕩器來控 制膜厚。所以,有機玻璃手套箱在利用和潔凈的時候,必需注意,不能利用酒精。
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